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陈迪教授:从中科大到上海交大的MEMS专家

786校友获国家技术发明二等奖

2025-11-28 14:12

陈迪,1961年出生,1978年考入中国科学技术大学(786),现为上海交通大学教授、博士生导师,微电子机械系统(MEMS)领域专家,曾任上海交通大学微纳科学技术研究院副院长。

教育背景:

  • 1978年:考入中国科学技术大学
  • 1980年:国家公派赴德国留学
  • 1986年:获德国汉堡大学化学系硕士学位
  • 1990年:获德国汉堡大学化学系博士学位

职业发展:

  • 1990-1992年:在德国MicroParts公司从事MEMS微加工技术的博士后研究工作
  • 1993年起:在上海交通大学先后任副教授、教授和博士生导师
  • 曾任微纳科学技术研究院副院长
  • 曾任巴黎卓越工程师学院院长
  • 现任上海交通大学电子信息与电气工程学院仪器科学与工程系教授

研究成果:

开发出了新型X光掩模板制备工艺和新的非硅三维微加工技术-DEM技术,用微电子机械系统(MEMS)技术开发出各种微流控芯片、植入式生物微电极阵列、MEMS集成探卡、微波定向天线和MEMS惯性开关等,应用于生物医学、信息产业和国防等领域。

学术成就:

  • 发表论文170余篇
  • 发明专利获授权27项
  • 参与撰写专著7本
  • 主持出版《微加工导论》译著1本

主要奖项:

  • 2007年:上海市技术发明一等奖("非硅MEMS技术及其应用")
  • 2008年:国家技术发明二等奖("非硅MEMS技术及其应用")
  • 2008年:教育部自然科学二等奖("微流控生化芯片的结构、制造、改性及其应用")
  • 2014年:教育部自然科学一等奖("微机械系统非线性动力学特性与振动控制")
  • 2016年:上海市技术发明一等奖("基于纳米技术的乙肝病毒及肝病全程的快速侦检技术及应用")

学术兼职:

  • 中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事
  • 全国微机电技术标准化技术委员会委员
  • 中国医药生物技术协会生物芯片专业委员会委员
  • 多个学术期刊编辑委员会委员

陈迪教授是786校友中在MEMS和微纳技术领域做出杰出贡献的代表,他的研究工作为我国微电子机械系统技术的发展做出了重要贡献。

来源:上海交通大学仪器科学与工程系百度百科